Heizmanschetten für Sauber- und Reinraumanwendungen
Produktmerkmale
Die benutzerfreundlichen DANCO Heizmanschetten sind bestens an die Bedingungen in Reinräumen angepasst und zeichnen sich durch spezielle Eigenschaften aus.
Durch die praxiserprobten Passformen für verschiedenste Größen und Geometrien und die flexible Konstruktion mit Klettverschluß gestaltet sich die Montage unkompliziert. Die verwendeten Materialien sind bis 200°C geeignet, haben hervorragende Partikeleigenschaften und der Außenmantel ist weitgehend chemisch resistent. Die innere, mehrlagige Isolierung verbindet Flexibilität, hohe Isolationsleistung und minimalen Energiebedarf perfekt miteinander.
Wichtige Informationen zum Produkt
Reinraumgeeignet – geringe Nennleistung von ~ 0,1 Watt/cm² – sehr langlebig – einfach zu de-/remontieren – Führende hinsichtlich TCO
- Perfekte Passform
- Praxiserprobte Lösungen
- Arbeitssicherheit bei hohen Grenztemperaturen
- Benutzerfreundlich
- Spezialisiert für die Halbleiterindustrie
- Kompetenz im Reinraum
- Energetisch vorteilhaft
- Große Bandbreite an Sicherheitsfunktionen
Perfekte Passform
DANCO Heizmanschetten werden für Dimensionen von minimal 6 mm bis zur Zeit DN 160 angeboten. Die Beheizung von nahezu jeder geometrischen Form und von Sonderbauteilen ist realisierbar.
Applikationen mit viertel und halb Zoll-Gas-Rohren gehören ebenso zur Standardreihe, wie Heizmanschetten für Schieber, Drosselventile, Wellrohrschläuche und Flanschverbindungen. Auch komplizierteste Installationen aus Komponenten verschiedener Zulieferer lassen sich problemlos mit diesem einheitlichen Heizsystem ausstatten. Durch die Vermeidung von Kältebrücken, sogenannten cold-spots, erhöht sich die effektive Betriebszeit der Installation wesentlich. Die Flexibilität und gleichzeitige Stabilität der Konstruktion gewährleistet eine lange Einsatzdauer (abhängig von Betriebstemperatur und Remontagehäufigkeit mehr als 20 Jahre nachgewiesen).
Praxiserprobte Lösungen
Durch DANCO Heizsysteme lassen sich komfortabel hohe Rohrtemperaturen bis 200°C am Zielobjekt einstellen. Damit können ausgesprochen gute Standzeiten der eingesetzten Rohrsysteme erzielt werden. Dies zeigt sich zum Beispiel in den Abständen der Rohrreinigungen, sowie durch sehr geringe Partikelrückwirkungen aus den Prozessleitungen in die Bearbeitungskammern. Zyklen von 2,5 Jahren zwischen Rohrreinigungen werden von einigen unserer Kunden bereits erreicht.
Arbeitssicherheit bei hohen Grenztemperaturen
Durch die erstklassigen Isolationseigenschaften der Konstruktion können auf platzsparende und ökonomische Weise Temperaturen von bis zu 200°C am Zielobjekt realisiert werden. Selbst dann werden die Grenzwerte des Gerätesicherheitsgesetzes und die der vormaligen Unfallverhütungsvorschriften nicht überschritten. Zusätzliche Aufwendungen zum Berührungsschutz werden dadurch besonders bei sehr harten Prozessen eingespart.
Benutzerfreundlich
Dank der flexiblen, anpassungsfähigen Konstruktion und der praktischen Klettverschlußtechnik ist die Montage und Demontage der DANCO Heizmanschetten äußerst unkompliziert und zeitsparend. Die Schmutz abweisende PTFE – Beschichtung des Außenmantels gewährleistet eine einfache Reinigung, falls zum Beispiel Ablagerungen aus benachbarten Abgaswäschern auftreten sollten.
Spezialisiert für die Halbleiterindustrie
DANCO Heizmanschetten werden mittlerweile von fast allen großen Halbleiter Herstellern in Europa eingesetzt. Auch Anlagenhersteller und Forschungsinstitute geben den besonderen Eigenschaften dieser Heizungen mittlerweile den Vorzug. Darüber hinaus sind sie in größerem Umfang in der Halbleiter Produktion in Südost-Asien im Einsatz. Die einstellbaren hohen Betriebstemperaturen sichern die Möglichkeit, auch in Zukunft sehr flexibel auf neue Prozesserfordernisse reagieren zu können
Kompetenz im Reinraum
DANCO Heizmanschetten verfügen über langzeitstabile Partikeleigenschaften. Diese haben selbst bei Dauerbetrieb mit Temperaturen bis zu 200°C Bestand. Die Langzeitstabilität der Konstruktion ermöglicht eine verlängerte Nutzungsdauer, ohne in Gefahr zu geraten, durch Degradation und Versprödung der Heizmanschetten die Partikellast an sensiblen Prozessanlagen zu vergrößern oder bereits nach 1,5 bis 2 Jahren wichtige Qualitätseigenschaften gänzlich zu verlieren. Im Feldvergleich wurden die Partikeleigenschaften untersucht und nach mehrmonatigem Gebrauch eindeutige Ergebnisse ermittelt.
(Quelle: Hemi Heating)
Energetisch vorteilhaft
Ein wesentlicher Vorteil der DANCO Heizsysteme ist ihr geringer Energiebedarf. Durch den mehrlagigen Sandwich-Aufbau, bestehend aus bis zu sechs Schichten Aramid-Fasern, erreichen die Heizmanschetten eine sehr hohe Anpassungsfähigkeit und Energieeffizienz. So sind die Anschlussleistungen nur etwa halb und der mittlere Leistungsbedarf weniger als halb so hoch, wie vergleichbare, komplett reinraumtaugliche Produkte am Weltmarkt. Dieses Qualitätsmerkmal eröffnet ein erhebliches Einsparpotential, besonders bei der Projektierung neuer Fertigungsstätten in denen viele, hoch beheizte und wartungsarme Vakuumverbindungen betrieben werden sollen. Einspareffekte folgen nicht nur aus dem geringeren laufenden Energieverbrauch, sondern bereits in der Ausrüstungsphase durch kleiner dimensionierbare Elektroverteilungen und Rückkühlaggregate vor allem im Pumpen-Bereich. Grundsätzlich sinken durch bei Beheizung der Rohre die Druckverluste in den Leitungen, was zu einem erheblich geringeren Energiebedarf der Pumpen führt. (Quelle: Hemi Heating)
Große Bandbreite an Sicherheitsfunktionen
Eine ganze Reihe von Sicherheitselementen sind bereits standardmäßig in jedem gelieferten Heizungssystem konstruktiv beinhaltet. Diese betreffen sowohl die passgenaue geometrische Gestaltung der Manschetten, welche stets der Kundenanlage speziell angepasst gefertigt werden, als auch die verfügbaren Steuer- und Regeleinheiten (controller). Regelungstechnisch besteht die Möglichkeit, aus einem gut gestaffelten Spektrum von Sicherheits- und Überwachungsfunktionen genau diejenige Ausstattungsoption wählen zu können, die für den jeweiligen kundenspezifischen Einsatzfall erforderlich und geeignet ist. So kann auch in komplizierten Installationen der Funktionserhalt jede einzelne der installierten Heizmanschetten über process monitoring Systeme mit unterschiedlicher Komplexität permanent überwacht werden. Dadurch kann jede lokale Abkühlung rechtzeitig erkannt und behoben werden.
Optimieren Sie Ihre Prozesse mit unserer Präzisionsheiz-technologie.
Rohrheizungen
Moderne Fertigungsverfahren erfordern immer komplexer werdende Prozessgasgemische, die oftmals zur unerwünschten Bildung von Abscheidungen neigen oder gelegentlich auch zur Kondensation nach der Prozesskammer führen. Einer der kritischsten Bereiche für das Auftreten unerwünschter Abscheidungen sind die Abgasleitungen. Unter dem Begriff Abgasleitung oder Exhaust line wird hier näher die, vom Pumpenausgang abgehende Ausblasleitung einer Vakuuminstallation betrachtet.
- Abgasleitungen / Exhaust lines
- Vorvakuumverbindungen
- Steuer- & Funktionselemente
Abgasleitungen / Exhaust lines
In den Abgasabschnitten der Prozessanlagen liegt das, größtenteils noch reaktionsfähige, Prozessgas-Gemisch in einer hohen Konzentration vor, da dessen Gasdruck durch die Vakuumpumpe auf etwas über Atmosphärendruck angehoben wurde. Die Bildung von festen Reaktionsprodukten ist hierdurch leichter möglich und deren unerwünschte Resultate wurden von vielen sicher in der Praxis schon festgestellt. Ohne spezielle Vorkehrungen nehmen die Schichtdicken der Abscheidungen im Inneren des Abgasrohrs mit exponentieller Geschwindigkeit solange zu, bis der Pumpstand mit Drucküberlastung ausfällt.
Vorvakuum–verbindungen
Vorvakuum-Verbindungen werden nicht vorrangig beheizt, um ein Verblocken des Leitungsquerschnitts zu verhindern. Vielmehr zielt hier die Beheizung im Wesentlichen darauf ab, das Ausbilden dünner Abscheidungsschichten an der Rohrinnenwand zu unterdrücken. Aus diesen Abscheidungen lösen sich, insbesondere bei Lastwechseln während des Evakuierens, kleinste Teilchen (Flitter). Diese verteilen sich selbst entgegen einer leichten Sperrgasströmung in der gesamten Vorvakuumleitung und gelangen relativ schnell auch bis an die Prozesskammer, wo sie zu einem Ansteigen des Partikelniveaus führen können. Ein sorgfältiges Temperaturmanagement kann derartige Abscheidungen und die damit entstehenden Partikelprobleme, wie nachfolgend illustriert erheblich reduzieren.
Steuer- & Funktionselemente
Wichtig für den Funktionserhalt insbesondere an sicherheitsrelevanten Baugruppen ist, dass die komplette Leitung inklusive dieser Steuer- und Funktionselemente beheizt werden. Nur so lässt sich an jedem Abschnitt der Leitung eine möglichst hohe, dem jeweiligen Prozess angepasste Temperatur einhalten. Kältebrücken und damit unerwünschte Abscheidungen lassen sich so vermeiden.
Beheizung Sondergasversorgung
Moderne Fertigungsverfahren erfordern immer komplexer werdende Prozessgasgemische. Gase wie z.B. BCL3, SiH2Cl2, C4F8 und verschiedene andere neigen schnell zur Tropfenkondensation innerhalb der Versorgungsleitung, wenn Leitungsabschnitte durch kühlere Bereiche trassiert werden. Am Ende kann die Gasversorgung aufgrund von Kondensattropfen versagen. Sensible Spezialgase erfordern deshalb zunehmend ein gut entwickeltes und sorgfältiges Temperaturmanagement, das derartige Kondensationsprobleme unterbindet. Temperaturstabil beheizte Entnahmestellen und Leitungen sorgen für eine zuverlässige Versorgung bei Gasen wie z. B. Distickstoffoxid, Ammoniak oder Kohlendioxid.
Druckgasflaschen und Tanks
Bei der Versorgung mit Flüssiggasen können schnell Bereitstellungsprobleme auftreten, sobald die geforderten Entnahmemengen enge Massengrenzen überschreiten, was den Zusammenbruch der Prozessgas-Versorgung zur Folge hat. Durch den Einsatz von Heizmänteln für Druckgasflaschen kann die Verdampfungsenergie kompensiert und der Prozessgasfluss sicher aufrechterhalten werden. Danco Heizmanschetten für Druckgasflaschen sind hierfür die ideale Wahl. Durch ihr geringes Gewicht, ihre hohe Flexibilität und den Platz sparenden Einbau eignen sie sich ganz besonders für den Betrieb in den beengten Installationsräumen der Flaschenkabinette. Durch erstklassige Handhabbarkeit beim Flaschenwechsel wird zudem eine erhebliche Arbeitserleichterung für das Wartungspersonal erzielt.
Druckregler
Probleme können aber auch unmittelbar nach der Entnahme von Gasen in Form von temperatursensiblen Entspannungseffekten auftreten. Durch derartige Effekte kann eine sichere Versorgung substantiell beeinträchtigt werden. Insbesondere dann, wenn die betriebenen Druckminderer durch die, bei der Druckreduzierung unvermeidbar auftretende, Entspannungskälte einfrieren und ihre Funktionsfähigkeit verlieren.
Optimieren Sie Ihre Prozesse mit unserer Präzisionsheiz-technologie.
UHV & XHV Heizsysteme
Beheizung von Hochleistungspumpständen
Nicht nur in Forschung und Entwicklung, sondern auch in hochkomplexen Fertigungsteilschritten wie MBE oder Spektroskopie werden Ultrahochvakuumanlagen eingesetzt, deren Leistungsfähigkeit entscheidend vom Einhalten sauberer Vakuumbedingungen abhängt. Die Befähigung, den Restgasdruck ohne großen Zeitverlust in den Bereich von 10-10 mbar und darunter zu bringen, ist eine wesentliche Aufgabenstellung. Dabei ist es von Vorteil, ein Heizsystem einzusetzen, dass flexibel konstruiert ist und den Oberflächen der Komponenten exakt folgt, um in direktem Wärmekontakt zu diesen zu verbleiben. Mit maßgefertigten Danco-Heizmanschetten lassen sich diese Ziele auch für komplizierteste Formteile erfüllen. Ein hochqualitatives Ausheizsystem wird darüber hinaus ein komplettes Umschließen aller Bereiche der wesentlichen Komponente ermöglichen, da ansonsten kältere Flächenabschnitte entstehen, welche nicht effektiv zur Desorption gebracht werden können.
Analysatorkammern und XHV- Rezipienten
Der gesamte, aus vielen einzelnen Flächen bestehende, Rezipient sollte homogen ausheizbar sein, was eine sehr gleichmäßige Verteilung der eingesetzten Heizleistung erforderlich macht. Anderenfalls kann es leicht zu lokalen Überhitzungen bis hin zum Anlaufen des Edelstahls führen. Die maximal erzielbaren Ausheiztemperaturen sollten bis über 200°C wählbar sein, um damit die Desorption zu beschleunigen. Durch uns gelieferte moderne Ausheizsysteme sind montagefreundlich gestaltet, sicher installier- und demontierbar und reproduzieren bei verschiedenen Einsätzen stets die gleichen Ergebnisse. Für einige Einsatzgebiete wie der Fertigung integrierter Elektronik sind weitere der vorhandenen Qualitätsmerkmale, wie die Erfüllung strenger Partikelanforderungen und eine hohe Materialbeständigkeit von wesentlicher Bedeutung.
Unsere Produktgalerie
